壓力傳感器元件的測(cè)量方法
壓阻式傳感器的高精度及其測(cè)量絕對(duì)壓力,表壓和差壓的能力使其在各種應(yīng)用中得到廣泛的應(yīng)用。
對(duì)于工業(yè)設(shè)備和機(jī)械,壓力傳感器所提供的信息可用于最有效地操作液壓或氣動(dòng)設(shè)備,這可與新的工業(yè)4.0標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)聯(lián)。
汽車對(duì)燃油效率和減少有害排放的要求越來(lái)越高,這就需要長(zhǎng)期穩(wěn)定、高精度的傳感器了。除了介電電阻外,一些應(yīng)用要求壓力傳感器具有抗凍性,但最重要的是傳感器需要在其整個(gè)使用壽命內(nèi)提供可靠的信號(hào)。
各種用途對(duì)壓力模的獨(dú)特特性提出了越來(lái)越高的要求,這就需要在模具層面上具有特定的設(shè)計(jì)特性。開(kāi)發(fā)了一系列TDK壓力傳感器,重點(diǎn)是提高靈敏度和高性能以及小模具尺寸。此外還特別注意介質(zhì)電阻和易處理能力的具體特點(diǎn)。
壓阻壓力傳感方法
壓阻壓力測(cè)量
絕對(duì)壓力測(cè)量 – 前側(cè)
玻璃在真空下與硅結(jié)合以產(chǎn)生控制真空。被測(cè)介質(zhì)與壓力傳感器元件芯片前面的有源電子元件接觸。
絕對(duì)壓力測(cè)量 – 背側(cè)
對(duì)于潮濕或腐蝕性介質(zhì),使用額外的玻璃蓋在前側(cè)形成控制室。介質(zhì)應(yīng)用于側(cè)面入口。
表壓和壓差測(cè)量
表壓或壓差測(cè)量正面和背面之間的差值。較高的前壓力導(dǎo)致的壓差導(dǎo)致輸出信號(hào)發(fā)生正變化。較高的背壓導(dǎo)致輸出信號(hào)出現(xiàn)負(fù)變化。
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