發(fā)布時(shí)間：2022年05月31日 17時(shí)55分17秒

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　　在微壓測(cè)量領(lǐng)域中由于壓力數(shù)值較小，對(duì)敏感元件產(chǎn)生的物理變化也相應(yīng)的小很多。這就要求了敏感元件需要滿足相對(duì)較高的靈敏度了。而壓力傳感器由于靈敏度較高頻率對(duì)壓力的變化比較敏感。因此在低壓高精度的測(cè)量中有著相對(duì)較好的性能表現(xiàn)。當(dāng)精度要求不是很高的情況下，擴(kuò)散硅和電容式可以兼顧精度和成本。擴(kuò)散硅壓力傳感器的靈敏度較高，其kPa也可應(yīng)用于微壓下的表壓絕壓測(cè)量。

　　那么在低壓和中壓的測(cè)量應(yīng)用中量程范圍可選性相對(duì)來說比較地廣泛，高精度可選諧振式，中等精度水平可以選用擴(kuò)散硅式，陶瓷電容電阻式，金屬應(yīng)變式傳感器擴(kuò)散硅式靈敏度高和體積小以及生產(chǎn)工藝復(fù)雜且相對(duì)成本略高，而陶瓷式成本低、精度低、適合大批量低成本應(yīng)用中，由于材料的特性其靈敏度低不耐壓力瞬變和機(jī)械沖擊。金屬應(yīng)變類型考慮了成本和精度。經(jīng)過熱處理的彈性體可以滿足不同測(cè)量介質(zhì)的要求。根據(jù)不同的工藝，敏感元件包括濺射膜、玻璃微熔、應(yīng)變片等。從低靈敏度到高靈敏度的范圍受到彈性體工藝的限制，然而在低壓下的測(cè)量精度相對(duì)較差，實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是金屬?gòu)椥泽w能夠承受較大的沖擊。

　　而在中高壓的應(yīng)用中擴(kuò)散硅和金屬應(yīng)變式各有著廣泛的應(yīng)用，陶瓷受限于材料的強(qiáng)度高壓耐受強(qiáng)度較差。金屬應(yīng)變式還具有較大的優(yōu)勢(shì)，同時(shí)受益于金屬?gòu)椥泽w材料的強(qiáng)度可以承受幾百兆帕的壓力，同時(shí)能夠應(yīng)對(duì)較大沖擊的應(yīng)用場(chǎng)景。

　　壓力傳感器如果依照準(zhǔn)確度等級(jí)來看的話從高精度的0.01級(jí)到低精度的4.0級(jí)，通常諧振壓力傳感器還可以滿足從低壓到高壓水平0.01到0.05級(jí)的測(cè)量要求。擴(kuò)散硅傳感器的精度范圍為0.02～0.5級(jí)，陶瓷傳感器的精度范圍為0.2～4.0級(jí)，而金屬應(yīng)變傳感器的精度范圍為0.5～4.0級(jí)。

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